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公司基本资料信息
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产品概括（kuò）
双腕玻璃基板搬运机器人
负（fù）载：95KG
动态范围（wéi）：2300mm
控制柜：DX100
用途（tú）：搬（bān）运、洁净室（shì）
产品详（xiáng）情（qíng）
大（dà）动作范围（wéi）：*大（dà）搬运尺寸达730*920mm双腕（wàn）玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连（lián）杆机（jī）构实（shí）现高（gāo）钢性。
采用真空（kōng）内传送带驱（qū）动实（shí）现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线（xiàn）。
| 项目 | 规格（gé） | 备注 | |
|---|---|---|---|
| 名称 | SEMISTAR-VD95D |
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| 机型 | XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆) |
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| 构造 | 水平多关节形(4个自由度) |
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| 动作范围 | L，R轴(伸（shēn）缩) | 2300mm |
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S轴(旋转) | -170°~+170° |
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U轴(升（shēng）降) | 150mm |
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动作时间（jiān）*1 (*高速度运作时) |
L，R轴(伸缩) | 3.2秒以下 | 2300mm伸缩距离 |
| S轴(回转（zhuǎn）) | 3.8秒以下 | 340deg旋转距离(但（dàn）L，R=0) | |
| U轴(升降) | 2.5秒（miǎo）以下 | 150mm升降距离 | |
| 重复定位精度*2 | 各轴±0.3mm | 抓手安装部分中心位（wèi）置时 | |
| 手臂抖动（dòng）精度（dù） | ±0.3mm以下 | 水（shuǐ）平方向，抓手安（ān）装部分（fèn）中心位置时 | |
| 负载 | 95KG/手臂 | 含抓手重量 | |
| 容许惯性力（lì）矩（jǔ）(CD2/4) | *大118kg·m2 | 含（hán）抓手重量，抓手（shǒu）安装部分中心位置（zhì）时（shí） | |
| 耐真（zhēn）空（kōng）度（dù） | 1*10-6Pa |
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| 本体（tǐ）质量 | 1500kg |
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| 适用控制（zhì）柜式样 | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V，3.0kVA | |
*1：动作节拍（pāi）不（bú）保证带有（yǒu）基（jī）板时搬运速度（dù）。由于抓（zhuā）手（shǒu）的形状（zhuàng）及抓（zhuā）手的（de）安装部分的钢性产生共振时，会影响动作（zuò）节（jiē）拍（pāi），请重（chóng）新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动（dòng）以及使用速度的差异（yì）、温度变化的影响不（bú）考虑在（zài）内。
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